IMEC показал 20.2%.
Бельгийцы продемонстрировали 20.2% для технологии "i-PERC".

на подложке: 156x156mm. Без серебра - Ni/Cu. Оксид алюминия на обратной стороне получен при помощи ALD (atomic-layer deposition). Пластина - Сz. Без отжига: лазерным дотироанием оксида алюминия (AL2O3).
Хотелось бы конечно знать пропускную способность оборудования - особенно ALD.
на подложке: 156x156mm. Без серебра - Ni/Cu. Оксид алюминия на обратной стороне получен при помощи ALD (atomic-layer deposition). Пластина - Сz. Без отжига: лазерным дотироанием оксида алюминия (AL2O3).
Хотелось бы конечно знать пропускную способность оборудования - особенно ALD.