Итак, надо померять сооружение (распыление с вращающимися катодами) в цеху. Желательно часто. размеры: метр-на-метр.
Но: точность не хуже 0.3 мм - вынь и полож!
Какой сканер?
Какой принцип сканирования?
Какой софт для сравнения с предыдущими результататми?
Вот, например, немецкая фирма по профилю:
Заранее благодарен.
Journal information