Слава Реакторам!
Видел это давно, но до сих пор помню. Потому, что в нем отражено множество идей. А еще говорят, что японцы не креативные! Врут.
Обычно плазмозимический реактор это кастрюля с двумя электродами расположенными как обкладки конденсатора. Но япы сделали нечто революционное:
Итак, в кастрюле - камере впрыскивают газ вдоль вращения цилиндра-катода. Плазма горит только там где ей позволяет закон Пашена - в небольшой области между подложкой (внизу) и катодом. Никаких паразитных разрядов при высоком давлении газа. Отработанный газ собирается после катода, очищается и используется снова!!
почему это круто:
1) 150 МГц вместо 13.56. И это на вращающемся электроде.
2) вращающийся электрод это защита от разрадов, искр и прочих локальностей.
3) вращающийся электрод это однородность процесса.
4) Вращающийся электрод это защита от образования полимеризующихся частиц (у них нет времени).
5) высочайшая степень использования газов благодаря очистке.
6) подбором положения анода0 подложки можно выбрать подходящее давление в процессе и размер плазменного пятна.
7) Газ находится в области плазмы короткое время - контроль химии.
Остаются только недостатки :)
Ссылки:
M. Matsumoto, M. Shima, S. Okamoto, K. Murata, M. Tanaka, S. Kiyama, H. Kakiuchil, K.Yasutake, K.Yoshiil , K. Endo and Yuzo Mori, 3rd World Conference on Photovoltaic Energy Conversion May 11-18, 2003 Osaka, Japan.50-A3-03 (tecn. Parameters)
H. KAKIUCHI, H. OHMI, Y. KUWAHARA, M. MATSUMOTO, Y. EBATA, K. YASUTAKE, K. YOSHII and Y. MORI, Japanese Journal of Applied Physics Vol. 45, No. 4B, 2006, pp. 3587–3591
Обычно плазмозимический реактор это кастрюля с двумя электродами расположенными как обкладки конденсатора. Но япы сделали нечто революционное:
Итак, в кастрюле - камере впрыскивают газ вдоль вращения цилиндра-катода. Плазма горит только там где ей позволяет закон Пашена - в небольшой области между подложкой (внизу) и катодом. Никаких паразитных разрядов при высоком давлении газа. Отработанный газ собирается после катода, очищается и используется снова!!
почему это круто:
1) 150 МГц вместо 13.56. И это на вращающемся электроде.
2) вращающийся электрод это защита от разрадов, искр и прочих локальностей.
3) вращающийся электрод это однородность процесса.
4) Вращающийся электрод это защита от образования полимеризующихся частиц (у них нет времени).
5) высочайшая степень использования газов благодаря очистке.
6) подбором положения анода0 подложки можно выбрать подходящее давление в процессе и размер плазменного пятна.
7) Газ находится в области плазмы короткое время - контроль химии.
Остаются только недостатки :)
Ссылки:
M. Matsumoto, M. Shima, S. Okamoto, K. Murata, M. Tanaka, S. Kiyama, H. Kakiuchil, K.Yasutake, K.Yoshiil , K. Endo and Yuzo Mori, 3rd World Conference on Photovoltaic Energy Conversion May 11-18, 2003 Osaka, Japan.50-A3-03 (tecn. Parameters)
H. KAKIUCHI, H. OHMI, Y. KUWAHARA, M. MATSUMOTO, Y. EBATA, K. YASUTAKE, K. YOSHII and Y. MORI, Japanese Journal of Applied Physics Vol. 45, No. 4B, 2006, pp. 3587–3591