очередное эмигрантское г.) (solar_front) wrote,
очередное эмигрантское г.)
solar_front

видео VCS для осаждения SiN на поликремний от Manz.

Новое в машине это электростатический подложкодержатель. Кремниевые пластины за счет электростатики удерживаются в вертикальном положении и так обрабатываются. Зачем вертикально: для того, чтобы пыли, осколков, прочей бяки на пластинах не было. Кроме того это позволяет обрабатывать поверхности по обе стороны от плазмы - в два раза выше производительность. 1200 пластин в час, но можно и больше.

залить не получается, даю ссылку:

http://www.manz.com/stella/files/Manz_cSi_VCS_1200.mp450630ad31bdab/Manz_cSi_VCS_1200.mp4?stream=1


на фото 4 держателя пластин:


машину видел - впечатления отличные.
Tags: manz ag, pv, оборудование, технология
Subscribe
promo solar_front may 17, 11:40 13
Buy for 10 tokens
"... мы устроили бардак в жизненно важной для экономики и общества системе, поставили под вопрос доступность электричества. Газовые электростанции были остановлены и опечатаны (из-за нерентабельности), цена на уголь привела к еще большей нагрузке на ТЭС в Германии, в определенные моменты сети…
  • Post a new comment

    Error

    Anonymous comments are disabled in this journal

    default userpic

    Your IP address will be recorded 

  • 7 comments