видео VCS для осаждения SiN на поликремний от Manz.

Новое в машине это электростатический подложкодержатель. Кремниевые пластины за счет электростатики удерживаются в вертикальном положении и так обрабатываются. Зачем вертикально: для того, чтобы пыли, осколков, прочей бяки на пластинах не было. Кроме того это позволяет обрабатывать поверхности по обе стороны от плазмы - в два раза выше производительность. 1200 пластин в час, но можно и больше.

залить не получается, даю ссылку:

http://www.manz.com/stella/files/Manz_cSi_VCS_1200.mp450630ad31bdab/Manz_cSi_VCS_1200.mp4?stream=1


на фото 4 держателя пластин:


машину видел - впечатления отличные.